一套防震系统即可抑制源于导管及管道等的高频振动,以及步行等产生的数Hz~数十Hz的低频振动。 该公司开发的“防震无尘室架构”主要有3个特点。第一,无需提高结构体刚性等降低低频范围振动所需措施。第二,由于无需防震装置以及增加强度的空间,因此无尘室设计的自由度得以提高。第三,由于1套系统即可实现防震要求,因此可缩短无尘室的施工工期。