溶解在水中的气体和气泡、微粒、总有机碳（TOC）以及工艺材料和管道元件析出的物质（离子和有机物）都有可能会污染晶片并且影响去离子水的折射率。总有机碳值比表1所列出的液体更高的超纯水，能够吸收扫描仪发出的DUV（远紫外光）的能量，引起缺陷，它也可能会导致各种吸附物堆积在透镜上并且引起传输损耗。